Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Інші автори: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Мова: | German |
| Опубліковано: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Редагування: | 1. Auflage |
| Зміст/частини: | 1 записів |
| Фізичний опис: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Шифр: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |