Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
Weitere Personen: | , |
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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Ausgabe: | 1. Auflage |
Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
Beschreibung: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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Signatur: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |