Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Övriga upphovsmän: | , |
|---|---|
| Materialtyp: | Bok |
| Språk: | German |
| Publicerad: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Upplaga: | 1. Auflage |
| Innehåll/delar: | 1 poster |
| Fysisk beskrivning: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Signum: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |