Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Drugi avtorji: | , |
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| Format: | Knjiga |
| Jezik: | German |
| Izdano: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Izdaja: | 1. Auflage |
| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
| Fizični opis: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |