Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Outros Autores: | , |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | German |
| Publicado em: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edição: | 1. Auflage |
| Conteúdos/Exemplares: | 1 registros |
| Descrição Física: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Área/Cota: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |