Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Kolejni autorzy: | , |
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| Format: | Książka |
| Język: | German |
| Wydane: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Wydanie: | 1. Auflage |
| Zapisy: | 1 zapisów |
| Opis fizyczny: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Sygnatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |