Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| その他の著者: | , |
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| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | German |
| 出版事項: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| 版: | 1. Auflage |
| 内容注記: | 1レコード |
| 物理的記述: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| 請求記号: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |