Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Այլ հեղինակներ: | , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| Լեզու: | German |
| Հրապարակվել է: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Հրատարակություն: | 1. Auflage |
| Բովանդակություն / հատվածներ: | 1 գրառումներ |
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Դասիչ: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |