Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Daljnji autori: | , |
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| Format: | Knjiga |
| Jezik: | German |
| Izdano: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Izdanje: | 1. Auflage |
| Sadržaji/dijelovi: | 1 zapisa |
| Opis: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |