Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| מחברים אחרים: | , |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | German |
| יצא לאור: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| מהדורה: | 1. Auflage |
| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
| תיאור פיזי: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| סימן המיקום: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |