Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Rannpháirtithe: | , |
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| Formáid: | LEABHAR |
| Teanga: | German |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Eagrán: | 1. Auflage |
| Ábhair/píosaí: | 1 taifead |
| Cur síos fisiciúil: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Gairmuimhir: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |