Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Autres auteurs: | , |
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| Format: | Livre |
| Langue: | German |
| Publié: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Édition: | 1. Auflage |
| Contenu: | 1 notices |
| Description matérielle: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Cote: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |