Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Γλώσσα: | German |
| Έκδοση: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Έκδοση: | 1. Auflage |
| Περιεχόμενα / Τμήματα: | 1 εγγραφές |
| Φυσική περιγραφή: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
|---|---|
| Ταξιθετικός Αριθμός: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |