Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Altres autors: | , |
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| Format: | Llibre |
| Idioma: | German |
| Publicat: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
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| Edició: | 1. Auflage |
| Continguts/components: | 1 registres |
| Descripció física: | 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln |
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| Signatura: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |