Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون:	Fedotov, J. A. (المحرر), Pohl, H-J (المحرر)
التنسيق:	كتاب
اللغة:	German
منشور في:	Berlin ; Moskau : Verlag Technik, 1974
الطبعة:	1. Auflage
المحتويات/الأجزاء:	1 تسجيلات

الوصف
وصف مادي:	336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln
رقم الطلب:	[mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden]

مواد مشابهة