Fotolithografie : Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie
| Weitere Personen: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin ; Moskau :
Verlag Technik,
1974
|
| Ausgabe: | 1. Auflage |
| Aufsatz in Zeitschrift/Bände/Inhalte: | 1 Datensätze |
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| 264 | 1 | |a Berlin ; Moskau : |b Verlag Technik, |c 1974 | |
| 300 | |a 336 S. : 205 Abb. ; 43 Tafeln | ||
| 700 | 1 | |a Fedotov, J. A. |4 edt | |
| 700 | 1 | |a Pohl, H-J. |4 edt | |
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