Fedotov, J. A., & Pohl, H. (1974). Fotolithografie: Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie (1. Auflage.). Verlag Technik.
शिकागो शैली (17वां संस्करण) प्रशस्ति पत्रFedotov, J. A., और H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Berlin ; Moskau: Verlag Technik, 1974.
एमएलए (8वां संस्करण) प्रशस्ति पत्रFedotov, J. A., और H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Verlag Technik, 1974.
चेतावनी: ये उद्धरण हमेशा 100% सटीक नहीं हो सकते हैं.