Fedotov, J. A., & Pohl, H. (1974). Fotolithografie: Grundlagen und Anwendung in der Halbleitertechnologie (1. Auflage.). Verlag Technik.
Citace podle Chicago (17th ed.)Fedotov, J. A., a H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Berlin ; Moskau: Verlag Technik, 1974.
Citace podle MLA (8th ed.)Fedotov, J. A., a H-J Pohl. Fotolithografie: Grundlagen Und Anwendung in Der Halbleitertechnologie. 1. Auflage. Verlag Technik, 1974.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..