Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| 主要作者: | |
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| 格式: | 图书 |
| 语言: | German |
| 出版: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| 内容/件: | %%计数%% 记录 |
| 实物描述: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| 索引号: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |