Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
| Main Author: | |
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin :
Akademie-Verlag,
1982
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| Contents/pieces: | 1 records |
| Physical Description: | X,158 Seiten : graphische Darstellungen |
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| Classmark: | [mehrbändig! Sign. s. bei den Bänden] |